活用事例

絶対的優位性

原理







インライン用センサー






センサー       

Z分解能

測定深度

W.D.*1

スキャン

広視野センサーL90

広視野を10μmの精度で測定

10µm

±65mm

128mm

ラインスキャン

高精細センサーS40

1μmの高精度で測定

1µm

±3mm

108mm

ライン/エリアスキャン

超高精細センサーM5

1μmの高精度で測定

1µm

±0.3mm

108mm

ライン/エリアスキャン

*WD:ワーキングディスタンス

卓上型スタンドアローン



  • 簡易に中型部品まで3次元形状測定が可能

    光コムの3種のセンサーをどれでも門型ステージに設置し、汎用型スタンドアローン機としてご利用いただけます。
    +直進型レーザーなので複雑形状も測定可能
    +100mm超えるワーキングディスタンスで測定手間が簡易
    +深い焦点深度で凹凸の激しい部品も測定可能

  • ご利用いただけるセンサー一覧
    センサー
    仕様
    広視野センサー L90
    Z精度±10μm XY精度±100μm
    焦点深度130mm WD127mm
    測定エリアmax500x500mm(90mm幅ラインスキャン)

    高精細センサー S40
    Z精度±1μm XY精度±60μm
    焦点深度6mm WD107mm
    測定エリア40x40mm

    超高精細センサー M5
    Z精度±1μm XY精度±28μm
    焦点深度2mm WD74mm
    測定エリア5x5mm

    *WD:ワーキングディスタンス
ロボットアームにより検査


  • ロボットアームの揺らぎを制御してミクロン精度の計測を可能に

    40x40mmの視野において、±1μmで測定できる非接触測定器です。ロボットアームにて測定箇所を自由自在に操作できます。

     

    ●Z軸精度±1μm

    ●ワーキングディスタンス106mm

    ●焦点深度6mm

    ●測定角度自由自在

    ●外乱光の影響なし

回転ミラー


  • 世界で唯一、ボア内面を1µm精度で検査を可能にする

    同軸計測レーザーならではの特徴として、ミラージグを使って円筒形状内面まで検査を実現します。

     

    ●精度±1μm

    ●測定角度自由自在

    ●外乱光の影響なし

光学カメラx光コムセンサー ハイブリッドタイプ
開発中 サンプル測定可能




JUKI製検査装置とのハイブリッド

サンプル測定可能ですので、一度お試しください。






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