簡易に中型部品まで3次元形状測定が可能
光コムの3種のセンサーをどれでも門型ステージに設置し、汎用型スタンドアローン機としてご利用いただけます。
+直進型レーザーなので複雑形状も測定可能
+100mm超えるワーキングディスタンスで測定手間が簡易
+深い焦点深度で凹凸の激しい部品も測定可能
| ご利用いただけるセンサー一覧 | |
|
センサー |
仕様 |
|
広視野センサー L90 |
Z精度±10μｍ XY精度±100μｍ 焦点深度130mm WD127mm 測定エリアmax500x500mm(90mm幅ラインスキャン) |
|
高精細センサー S40 |
Z精度±1μｍ XY精度±60μｍ 焦点深度6mm WD107mm 測定エリア40x40mm |
|
超高精細センサー M5 |
Z精度±1μｍ XY精度±28μｍ 焦点深度2mm WD74mm 測定エリア5x5mm |
|
*WD:ワーキングディスタンス |
|
ロボットアームの揺らぎを制御してミクロン精度の計測を可能に
40ｘ40mmの視野において、±1μmで測定できる非接触測定器です。ロボットアームにて測定箇所を自由自在に操作できます。
●Z軸精度±1μｍ
●ワーキングディスタンス106ｍｍ
●焦点深度6ｍｍ
●測定角度自由自在
●外乱光の影響なし
世界で唯一、ボア内面を1µm精度で検査を可能にする
同軸計測レーザーならではの特徴として、ミラージグを使って円筒形状内面まで検査を実現します。
●精度±1μｍ
●測定角度自由自在
●外乱光の影響なし
